德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)，應(yīng)用于掃描顯微鏡，測(cè)量技術(shù)，測(cè)試程序和質(zhì)量保證，光子，光纖定位
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷掃描器 納米定位平臺(tái) P-752
P-752 高精度納米定位平臺(tái)
應(yīng)用領(lǐng)域：
掃描顯微鏡
測(cè)量技術(shù)
測(cè)試程序和質(zhì)量保證
光子
光纖定位
產(chǎn)品參數(shù)：
型號(hào)：P-752.11C
主動(dòng)軸：X
集成傳感器：電容式
-20至+120伏時(shí)的開(kāi)環(huán)行程：20微米
行程，閉環(huán)：15微米
分辨率，開(kāi)環(huán)/閉環(huán)：0.1納米
線性誤差，閉環(huán)：0.03%
重復(fù)精度：±1納米
螺距/偏轉(zhuǎn)角：±1微弧度
運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：30牛/微米
諧振頻率，空載：3200赫茲
帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：980赫茲
運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 10牛
負(fù)載容量：30牛
型號(hào)：P-752.1CD
主動(dòng)軸：X
集成傳感器：電容式
-20至+120伏時(shí)的開(kāi)環(huán)行程：20微米
行程，閉環(huán)：15微米
分辨率，開(kāi)環(huán)/閉環(huán)：0.1納米
線性誤差，閉環(huán)：0.03%
重復(fù)精度：±1納米
螺距/偏轉(zhuǎn)角：±1微弧度
運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：30牛/微米
諧振頻率，空載：3200赫茲
帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：980赫茲
運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 10牛
負(fù)載容量：30牛
型號(hào)：P-752.21C
主動(dòng)軸：X
集成傳感器：電容式
-20至+120伏時(shí)的開(kāi)環(huán)行程：35微米
行程，閉環(huán)：30微米
分辨率，開(kāi)環(huán)/閉環(huán)：0.2納米
線性誤差，閉環(huán)：0.03%
重復(fù)精度：±2納米
螺距/偏轉(zhuǎn)角：±1微弧度
運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：20牛/微米
諧振頻率，空載：2100赫茲
帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：600赫茲
運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 10牛
負(fù)載容量：30牛
型號(hào)：P-752.2CD
主動(dòng)軸：X
集成傳感器：電容式
-20至+120伏時(shí)的開(kāi)環(huán)行程：35微米
行程，閉環(huán)：30微米
分辨率，開(kāi)環(huán)/閉環(huán)：0.2納米
線性誤差，閉環(huán)：0.03%
重復(fù)精度：±2納米
螺距/偏轉(zhuǎn)角：±1微弧度
運(yùn)動(dòng)方向上的剛性：20牛/微米
諧振頻率，空載：2100赫茲
帶300 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：600赫茲
運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：100 / 10牛
負(fù)載容量：30牛
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷掃描器 納米定位平臺(tái) P-752
