德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺，用于納米級定位和光纖校準(zhǔn)的緊湊型并聯(lián)運(yùn)動壓電系統(tǒng)
德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 納米定位器 壓電納米定位系統(tǒng) P-616.3C
德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 納米定位器 壓電納米定位系統(tǒng) P-616.3C
主動軸：X、Y、Z
-20至120伏時的開環(huán)行程：110/軸微米
行程，閉環(huán)：100/軸微米
分辨率，1s，開環(huán)：0.3納米
分辨率，1s，閉環(huán)：0.4納米
線性誤差：0.03%
雙向重復(fù)精度，1s，10%行程范圍內(nèi)：<10納米
雙向重復(fù)精度，1s，行程范圍內(nèi)：<15納米
應(yīng)用領(lǐng)域：
光纖定位和對準(zhǔn)
掃描顯微鏡
雙光子聚合
納米技術(shù)和納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操縱
樣本定位
產(chǎn)品參數(shù)：
型號：P-616.3C
主動軸：X、Y、Z
-20至120伏時的開環(huán)行程：110/軸微米
行程，閉環(huán)：100/軸微米
分辨率，1s，開環(huán)：0.3納米
分辨率，1s，閉環(huán)：0.4納米
線性誤差：0.03%
雙向重復(fù)精度，1s，10%行程范圍內(nèi)：<10納米
雙向重復(fù)精度，1s，行程范圍內(nèi)：<15納米
傳感器類型：電容式傳感器
剛度：0.5牛/微米
X/Y/Z向上的空載諧振頻率：700赫茲
帶38克負(fù)載的諧振頻率X/Y/Z：380赫茲
帶100克負(fù)載的諧振頻率X/Y/Z：250赫茲
推/拉力大?。?span style="font-family: Calibri;">15牛
允許轉(zhuǎn)矩：0.4牛米
德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 納米定位器 壓電納米定位系統(tǒng) P-616.3C
