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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL
應用領域：
掃描顯微鏡
超分辨率顯微鏡
生物技術
掩模/晶圓定位
樣本定位
干涉測量
計量
產品參數(shù)：
型號：P-541.ZSL
主動軸：Z
集成傳感器：應變片傳感器
-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米
θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：100微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：-毫弧度
Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米
θX、θY向上的開環(huán)分辨率：–微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：2.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：0.2%
Z向上的重復精度：<10納米
θX、θY向上的重復精度：–微弧度
θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度
產品參數(shù)：
型號：P-541.TSL
主動軸：Z,θX,θY
集成傳感器：應變片傳感器
-20至120 伏時Z向上的開環(huán)行程：150微米
θX、θY向上-20至120 伏時的開環(huán)偏擺角：±0.6毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：100微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±0.4毫弧度
Z向上的分辨率，開環(huán)：0.2納米
θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.02微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：2.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.25微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：0.2%
Z向上的重復精度：<10納米
θX、θY向上的重復精度：0.05微弧度
θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL
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