德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)，掃描顯微鏡，超分辨率顯微鏡，生物技術(shù)，掩模/晶圓定位，樣本定位，干涉測(cè)量，計(jì)量
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷位移臺(tái) P-541.X0L
應(yīng)用領(lǐng)域：
掃描顯微鏡
超分辨率顯微鏡
生物技術(shù)
掩模/晶圓定位
樣本定位
干涉測(cè)量
計(jì)量
產(chǎn)品參數(shù)：
型號(hào)：P-541.Z0L
主動(dòng)軸：Z
集成傳感器：–
-20至120 伏時(shí)Z向上的開(kāi)環(huán)行程：150微米
θX、θY向上-20至120 伏時(shí)的開(kāi)環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：–微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的分辨率，開(kāi)環(huán)：0.2納米
θX、θY向上的開(kāi)環(huán)分辨率：–微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：–納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：–%
Z向上的重復(fù)精度：–納米
θX、θY向上的重復(fù)精度：–微弧度
θX、θY向上的串?dāng)_（Z向運(yùn)動(dòng)）：±15微弧度
產(chǎn)品參數(shù)：
型號(hào)：P-541.T0L
主動(dòng)軸：Z,θX,θY
集成傳感器：–
-20至120 伏時(shí)Z向上的開(kāi)環(huán)行程：150微米
θX、θY向上-20至120 伏時(shí)的開(kāi)環(huán)偏擺角：±0.6毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：–微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：–毫弧度
Z向上的分辨率，開(kāi)環(huán)：0.2納米
θX、θY向上的開(kāi)環(huán)分辨率：0.02微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：–納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：–%
Z向上的重復(fù)精度：–納米
θX、θY向上的重復(fù)精度：–微弧度
θX、θY向上的串?dāng)_（Z向運(yùn)動(dòng)）：±15微弧度
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷位移臺(tái) P-541.X0L
