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一、產(chǎn)品概述
SRPV100 是一款應(yīng)用于光伏TopCon產(chǎn)品Poly膜厚在線監(jiān)控的傳感器,緊湊集成化設(shè)計,操作簡便,通過分析干涉形成的反射光譜,準(zhǔn)確表征Poly薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。
二、產(chǎn)品特點
■可覆蓋微絨面和拋光面應(yīng)用場景;
■對樣品傾斜以及工作距離變化不敏感;
■測量精度高;
■高速測量;
■豐富的工業(yè)測量經(jīng)驗。
三、測量原理
薄膜上下表面反射光由于相互之間的相位差增強(qiáng)或者減弱,相位差取決于光的波長和光程(等于薄膜光的往返距離×折射率),透明薄膜,光程差等于波長整數(shù)倍,反射相長。
技術(shù)參數(shù)
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