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一、概述

SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理進(jìn)行無損測量，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時搭配R-Theta位移臺，兼容6到12寸樣品，可以對整個樣品進(jìn)行快速掃描，快速準(zhǔn)確測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息，并對于膜厚均勻性做出評價。

光學(xué)薄膜測量解決方案

非接觸、非破壞測量

核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析

膜厚重復(fù)性測量精度：0.02nm

全自動測量，測量點數(shù)跟位置在Recipe中可根據(jù)需要編輯 

二、產(chǎn)品特點

1、SR-Mapping反射膜厚儀采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?，光譜覆蓋紫外可見光到近紅外范圍

3、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層