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一、概述

SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。

二、測試案例

成膜工藝監(jiān)控

膜厚表征

三、產(chǎn)品應(yīng)用

光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。

四、技術(shù)參數(shù)

頤光科技注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū)，立足光谷，面向，為用戶提供光學(xué)散射測量儀等系列產(chǎn)品，并提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜和保護膜、減反膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。