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橢偏在線監(jiān)測裝備針對LCD、OLED等新型平板顯示量產(chǎn)中所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/無機(jī)封裝薄膜等質(zhì)量控制需要,專門設(shè)計的在線薄膜測量系統(tǒng)。橢偏在線監(jiān)測裝備可適用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件,自動實現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的全...
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