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各種用途的DLC涂層厚度的測(cè)量
閱讀：1863 發(fā)布時(shí)間：2020-9-18
DLC（類金剛石碳）是無(wú)定形碳基材料。由于其高硬度、低摩擦系數(shù)、耐磨性、電絕緣性、高阻隔性、表面改性以及與其他材料的親和性等特征，被廣泛用于各種用途。近年來(lái)，根據(jù)各種不同的應(yīng)用，膜厚度測(cè)量的需求也在增加。
一般做法是通過(guò)使用電子顯微鏡觀察準(zhǔn)備的監(jiān)測(cè)樣品橫截面來(lái)進(jìn)行破壞性的DLC厚度測(cè)量。而大塚電子采用的光干涉型膜厚計(jì)，則可以非破壞性地和高速地進(jìn)行測(cè)量。通過(guò)改變測(cè)量波長(zhǎng)范圍，還可以測(cè)量從極薄膜到超厚膜的廣范圍的膜厚度。
通過(guò)采用我們自己的顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)，不僅可以測(cè)量監(jiān)測(cè)樣品，還可以測(cè)量有形狀的樣品。此外，監(jiān)視器一邊確認(rèn)檢查測(cè)量位置一邊進(jìn)行測(cè)量的方式，還可以用于分析異常原因。
支持定制的傾斜/旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，可對(duì)應(yīng)各種形狀。可以測(cè)量實(shí)際樣本的任意多處位置。
光學(xué)干涉膜厚度系統(tǒng)的薄弱點(diǎn)是在不知道材料的光學(xué)常數(shù)（nk）的情況下，無(wú)法進(jìn)行準(zhǔn)確的膜厚度測(cè)量，對(duì)此大塚電子通過(guò)使用*的分析方法來(lái)確認(rèn)：多點(diǎn)分析。通過(guò)同時(shí)分析事先準(zhǔn)備的厚度不同的樣品即可測(cè)量。與傳統(tǒng)測(cè)量方法相比，可以獲得*精度的nk。
通過(guò)NIST（美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院）認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn)，保證了可追溯性。