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薄膜厚度測試的方法有哪些？
閱讀：8238 發(fā)布時間：2020-7-7
薄膜厚度測試的方法有哪些？
薄膜厚度測試可以分為在線測厚設(shè)備和非在線測厚設(shè)備兩大類。這兩類測厚設(shè)備如果能夠配合使用是較理想的，這一方面是由于在線測厚設(shè)備往往采用的非接觸式測量方式，用于軟包材的厚度檢測時無法避免由于材料具有壓縮性或是表面平整性不好而引起的數(shù)據(jù)波動較大的情況。
而非在線測厚設(shè)備可以提供接觸式測量方法，有效彌補(bǔ)了在線測厚的這一不足。另一方面在線測厚雖然能有效控制一批薄膜的厚度均勻性，但卻不適用于對成品薄膜的抽樣檢測，因此必須配備非在線測厚設(shè)備。
薄膜厚度測試的方法有以下這些：
隨著科技的進(jìn)步和精密儀器的應(yīng)用，薄膜厚度的測量方法有很多，按照測量的方式分可以分為兩類：直接測量和間接測量。直接測量指應(yīng)用測量儀器，通過接觸（或光接觸）直接感應(yīng)出薄膜的厚度。
1、常見的直接法測量有：螺旋測微法、精密輪廓掃描法（臺階法）、掃描電子顯微法（SEM）；間接測量指根據(jù)一定對應(yīng)的物理關(guān)系，將相關(guān)的物理量經(jīng)過計(jì)算轉(zhuǎn)化為薄膜的厚度，從而達(dá)到測量薄膜厚度的目的。
2、常見的間接法測量有：稱量法、電容法、電阻法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。按照測量的原理可分為三類：稱量法、電學(xué)法、光學(xué)法。
3、常見的稱量法有：天平法、石英法、原子數(shù)測定法；常見的電學(xué)法有：電阻法、電容法、渦流法；
4、常見的光學(xué)方法有：等厚干涉法、變角干涉法、光吸收法、橢圓偏振法。
好了，以上便是對薄膜厚度測試的相關(guān)內(nèi)容介紹了。