parker派克氣動隔膜閥   超高純隔膜閥 - 手動的或氣動的（可達(dá)到250 psig真空）-955系列 | #95OPLPNCSTS6
955 系列隔膜閥可以廣泛應(yīng)用于手動氣動執(zhí)行器。此系列閥門具有高穩(wěn)定性，抗漏性，及潔凈度；適用于超高壓半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。

 物品信息

派克955系列1-1/4英寸不銹鋼閥體隔膜閥能夠提供出色的抗漏能力，長久的使用壽命以及低雜質(zhì)生成。這些優(yōu)點(diǎn)使它成為高純半導(dǎo)體應(yīng)用的理想選擇。

955系列在過程流體的使用中采用無螺紋及彈簧連接，這種設(shè)計能夠大限度的減少雜質(zhì)的生成并且可以使過程減少污染，而這是半導(dǎo)體應(yīng)用的關(guān)鍵。嚴(yán)格的閥門設(shè)計能夠控制閥座及膜片的壓力，從而提供穩(wěn)定的免維護(hù)的使用壽命。955系列與流體接觸的部分由特殊的金屬構(gòu)成具有良好的防腐蝕性及抗漏能力。閥體內(nèi)部為Vericlean™ 316L不銹鋼電拋光材質(zhì)。Vericlean™ 是派克出色的超高純級不銹鋼材質(zhì)。膜片是高強(qiáng)度的鈷基合金。955系列閥座同時提供PCTFE(聚三氟氯乙烯），PEEK®（聚醚醚酮）和Vespel®(聚酰亞胺樹脂）材質(zhì)，以便可以兼容廣范圍的過程流體。這些材質(zhì)組成了955系列嚴(yán)格的設(shè)計特征，為955系列提供了良好的抗腐蝕性，在入口壓力250 psig時達(dá)到更大的使用壽命。

955系列的氣動閥被設(shè)定成能夠用限位開關(guān)或接近開關(guān)來提供開-關(guān)的位置指示。這個設(shè)定也應(yīng)用在多閥體構(gòu)造中，包括955Y（Y閥）和SM955（表面組裝）。

955系列閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封均采用質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄漏測試，以獲得其在高要求的超高純應(yīng)用中有出色穩(wěn)定的表現(xiàn)。
市場需求：
• 半導(dǎo)體
• 分析實(shí)驗(yàn)室
• 制藥業(yè)
• 生物制藥業(yè)
• 航空航天
• 工業(yè)
parker派克氣動隔膜閥特點(diǎn)/優(yōu)勢：
• 5微英寸（Ra）電解拋光表面光潔度
• 高使用壽命（包含腐蝕性條件下）
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計，更大限度的減少了雜質(zhì)的生成和氣體的卷入
• 從真空到250 psig適用
• 內(nèi)部泄漏率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 標(biāo)稱AOP驅(qū)動壓力為75 psig
應(yīng)用：
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具連接
• 特氣柜
• 閥箱