掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。
掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣_上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。
掃描電鏡主要可以分為三個部分:
a.電子光學系統(tǒng)
作用:是用來獲得很細的電子束(直徑約幾個nm)，作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。
b.信號收集處理，圖像顯示和記錄系統(tǒng)
作用:收集(探測)樣品在入射電子束作用下產(chǎn)生的各種物理信號，并進行放大；將信號檢測放大系統(tǒng)輸出的調制信號轉換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像，供觀察或記錄。
c.真空系統(tǒng)
作用:保證電子光學系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，避免燈絲壽命快速下降。
需要提供高的真空度，一般情況下要求保持10-4~10-5mmHg的真空度。
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