測(cè)試方法

真空度測(cè)試常見的有破壞性測(cè)試方法和無損檢測(cè)方法。

破壞性測(cè)試方法常見的是采用針頭刺入容器頂空，通過壓力（真空度）傳感器探測(cè)獲取真空度，該測(cè)試方法在一定程度上會(huì)受到管路中空氣的影響，可以用于真空度的粗略抽查，在小頂空容器中表現(xiàn)尤為明顯。典型的應(yīng)用是用于粗略的進(jìn)行密閉容器完整性測(cè)試（CCIT）評(píng)估，方法是將高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留樣半年到1年，然后觀察瓶?jī)?nèi)真空度。如果里面還有一定真空度，即里面的壓力是微負(fù)壓，說明瓶子是不漏的；相反，如果里面的壓力是常壓，說明瓶子是漏的。

如果是用于工藝的優(yōu)化和標(biāo)準(zhǔn)的制定，通常會(huì)采用無損的真空度測(cè)試方法。無損的真空度測(cè)試方法常見的是激光法（即調(diào)頻光譜法（FMS）），它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會(huì)在一定波段下有激光吸收，并且會(huì)得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質(zhì)的含量成正比，其中水汽的激光吸收?qǐng)D譜中的峰寬（波峰和波谷之間的橫向距離）和頂空總壓力成正比。因此，采用激光法能夠?qū)θ萜鬟M(jìn)行無損真空度測(cè)試。激光法對(duì)真空度的小檢出限大約為7mbar，因此能測(cè)試出接近真實(shí)的真空度。

技術(shù)參數(shù)

1. 真空度測(cè)量范圍: 9.999×10-1~1×10-5

2. 離子電流測(cè)量范圍: 9.999×10-1~1×10-7

3. 測(cè)量誤差: <10%

4. 測(cè)量分辨率: 10-5pa

5. 允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃

6.真空度測(cè)試儀/真空儀 空氣濕度: ≤80%RH

7. 電源: AC/220V/50Hz±10%

8. 外型尺寸: 420×290×210(mm)

9. 高壓輸出: 脈沖30kV15kHz

注意事項(xiàng)

1、真空度測(cè)試儀/真空儀，該儀器屬精密儀器，電路板布線密度較大，一般要求存放于較干燥的地方。若環(huán)境較潮濕，則應(yīng)經(jīng)常通電。

2、若測(cè)試后電流值顯示為零，應(yīng)檢查滅弧室表面是否清潔。因?yàn)楸砻娌磺鍧嵖赡苁孤╇姷淖兓荡笥陔婋x電流值，這樣，測(cè)量值減去漏電后小于零，而被儀器判為零。發(fā)生這種情況后，將滅弧室表面檫干凈，再做試驗(yàn)，一般來說這樣得到的真空度值較精確。

3、使用時(shí)，高壓輸出線不得觸及人體，以防觸電。

4、高壓指示燈亮?xí)r，不要觸及高壓線和磁控電流線，以防觸電。

5、拆裝打印紙?jiān)趦x器先斷電的情況下進(jìn)行，以免損壞打印機(jī)。換紙時(shí)，將前面板打開，用食指和拇指捏緊打印機(jī)兩端的兩夾片輕輕拖出打印機(jī)，使出紙口略高于儀器面板，但不能拖出距離太大，將新紙端口部分剪成尖頭狀，插入打印機(jī)的進(jìn)紙口，打開儀器電源開關(guān)，按下打印鍵，使紙從打印機(jī)的上端走出一段距離，插入面板出口縫導(dǎo)出。蓋好打印機(jī)面板，裝紙完畢。

6、本儀器無任何用戶可維修的部件,如出現(xiàn)故障,請(qǐng)專業(yè)人員維修,或與供應(yīng)商聯(lián)系,切勿擅自打開儀器,以免發(fā)生意外或造成不必要的損失。

7、本儀器真空度測(cè)量范圍在9.999×10-1~1×10-5之間,離子電流測(cè)量范圍在9.999×10-1~1×10-7之間，當(dāng)真空管的真空度大于10-2 Pa或離子電流大于500uA時(shí)建議該真空管報(bào)廢。

8、若真空管內(nèi)壓力等于大氣壓(即真空管破損)，本儀器測(cè)量范圍內(nèi), 本儀器則拒絕檢測(cè)，返回初始狀態(tài)。

(注:擊穿后，儀器有可能出現(xiàn)顯示不正常，此時(shí)，按"復(fù)位鍵"，儀器回到正常狀態(tài)。)