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nXDS10i 是下一代*無油的干式渦旋泵，并取代 XDS10。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了*新的端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可*進行現(xiàn)場維修。
愛德華干式渦旋泵nXDS10i
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
愛德華干式渦旋泵nXDS10i
概述
nXDS10i 是下一代*無油的干式渦旋泵，并取代 XDS10。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了*新的端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可*進行現(xiàn)場維修。
愛德華干式渦旋泵nXDS10i用途
一般清潔泵送應用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉離心蒸發(fā)器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學儀器
特性與優(yōu)勢
?真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染
?無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
?簡單的單側滾軸布置電機和軸承設計相結合，只需低程度的特殊工具，就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
?改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本
?*的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠程控制/監(jiān)視
本產(chǎn)品特點：
1、溫控風扇
可以在低負載條件下降低風扇轉速，從而使小噪聲降至僅52dB（A)。
2、軸承罩
可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。
3、變頻器驅動
范圍內(nèi)泵性能*相同，易于控制，功耗降低和自動電壓調整特性，從而有助于打造jia用戶體驗。
4、優(yōu)化渦盤設計
轉速提高，極限真空比第yi代提高一個數(shù)量級，低極限壓力僅為7*10^-3mbar。
5、優(yōu)化斷面密封技術
使用壽命發(fā)生顯著變化，就大多數(shù)應用而言，典型的端面密封條使用壽命達到兩年以上。
6、高流量氣鎮(zhèn)特性
可以gao220g/hr的速度抽取蒸汽（包括水蒸氣）。
技術參數(shù)：
