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產(chǎn)品簡介

Edwards愛德華IXH系列半導體干式真空泵維修保養(yǎng)
Edwards愛德華高級干式半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。

詳細介紹

Edwards愛德華IXH系列半導體干式真空泵維修保養(yǎng)

Edwards愛德華高級干式半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和xing能。
edwards iXH 系列干泵產(chǎn)品是 Edwards 的市場 iH 產(chǎn)品的換代升級，為嚴苛制程能力樹立了新標準，它在世界上的許多 300mm 半導體和平板工廠內(nèi)通過提高制程可靠xing實現(xiàn)低擁有成本。
可滿足 FPD、太陽能、半導體和 LED 制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的完美大容量干泵和增壓泵系列。除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性以確保在嚴苛制程中具有大可靠xing。

Edwards愛德華IXH系列半導體干式真空泵產(chǎn)品型號：

IXH100、 IXH200、 IXH200H、 IXH500H、 IXH500Q 、IXH610、 IXH645H、 IXH1210、 IXH1210H、 IXH1220H、 iXH1220HTX、iXH1820、 iXH1820T、iXH1820H、 iXH6045HT、IXH3030T、IXH3045H、IXH4545HT、,IXH4550、IXH3030,

愛德華IXH系列半導體干式真空泵維修保養(yǎng)

Edwards愛德華IXH系列半導體干式真空泵參數(shù)：