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Edwards愛德華IL系列半導(dǎo)體干式真空泵維修保養(yǎng)
Edwards愛德華高級半導(dǎo)體干式真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
Edwards愛德華IL系列半導(dǎo)體干式真空泵維修保養(yǎng)
Edwards愛德華高級半導(dǎo)體干式真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
Edwards 愛德華是在一些嚴苛的應(yīng)用環(huán)境中首先使用干真空泵的廠商。我們擁有 20 余年的經(jīng)驗，已在安裝了 100000 多臺 Drystar 泵。
Edwards 愛德華iL系列干式泵的設(shè)計在干抽和很寬。世界上70000多臺干泵的現(xiàn)場經(jīng)驗，iL系列泵現(xiàn)在是世界上有條300毫米的生產(chǎn)線。
Edwards 愛德華iL系列泵專為清潔應(yīng)用而設(shè)計,如負載鎖和傳輸室以及零功能氮消耗。
iL系列在世界晶圓制造廠證明需要零周期維護。iH和iL系列為全系列提供特定于半導(dǎo)體制造工藝應(yīng)用程序的解決方案。
Edwards 愛德華iLN系列泵具有軸封氮氣吹掃能力,適用于輕負荷應(yīng)用，如介質(zhì)蝕刻。
Edwards 愛德華iLN系列半導(dǎo)體干式真空泵產(chǎn)品型號：iL70、iL70+、iL70N、iL600、iL600+、iL600N、
Edwards 愛德華iLN系列半導(dǎo)體干式真空泵優(yōu)點及特點：
低擁有成本、占地面積小
iL系列的設(shè)計特點是電力和氮氣需求占地面積，節(jié)省寶貴的工廠占地面積。
大大減少了冷卻水的使用要求。
泵可以堆疊以進一步減少占地面積小化。
iL系列需要在大修之間進行零維護，
消除了昂貴的定期維修和停機時間。
Edwards 愛德華iLN系列半導(dǎo)體干式真空泵應(yīng)用：
負載鎖定
傳輸室
PVD濺射
灰化/PR帶
介電層蝕刻
植入物（梁/靶）
愛德華IL系列半導(dǎo)體干式真空泵維修保養(yǎng)
IL600:
IL70:
