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真空閥門的定義和作用
真空閥門是在真空系統(tǒng)中用來隔離（切斷）氣流、調(diào)節(jié)氣流流量、分配氣流的真空元件。種類繁多的真空裝置（亦稱真空工程設(shè)備）都離不開真空系統(tǒng)。真空閥門不論在簡單或復(fù)雜的真空系統(tǒng)中都占有重要的地位。
通常在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，要根據(jù)真空裝置的要求和真空系統(tǒng)的特點(diǎn)來選擇不同類型的真空閥門。例如，真空放氣閥，是用來給真空系統(tǒng)放入大氣用的。真空裝置完成真空作業(yè)后，若要更換工件或取出樣品，必須將大氣放入真空室，使真空室大門兩側(cè)沒有壓差，才能打開大門進(jìn)行工件更換。而針閥是向真空系統(tǒng)中充氣，并能調(diào)節(jié)氣體流量的真空閥門。
真空閥門常用于真空泵抽速測量、真空鍍膜、離子束刻蝕、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置等真空系統(tǒng)上，提供精確調(diào)節(jié)的氣體流量，用以獲得穩(wěn)定的工藝要求的真空度；高真空擋板閥、高真空插板閥，常用于主抽氣泵的進(jìn)氣口上，用來隔離真空泵，使之不暴露于大氣之中。高真空蝶閥可裝于真空室，真空管道與真空泵之間，用以接通和隔離（截止）氣流。閥門設(shè)計(jì)不應(yīng)當(dāng)漏氣、發(fā)生機(jī)械、電氣故障等。
需要糾正一下國內(nèi)電站閥門存在的錯(cuò)誤叫法，在電站閥門中，通常將填料部分帶水封裝置的閥門前面冠以“真空”，如真空閘閥、真空截止閥等。而事實(shí)上，這些閥門的介質(zhì)壓力都很高，有的閥門壓力高達(dá)10MPa，這是一種錯(cuò)誤的叫法，應(yīng)當(dāng)予以糾正。
選用真空閥門時(shí)主要應(yīng)注意的事項(xiàng)如下：
1、所應(yīng)用的真空區(qū)域；
2、關(guān)閉時(shí)閥門兩邊所承受的壓力差；
3、閥的漏率；
4、能承受的烘烤溫度；
5、能承受的環(huán)境溫度；
6、以開啟/封閉次數(shù)計(jì)的壽命；
7、如為超高真空金屬閥,還需知道其允許的升溫率和降溫率。
真空閥門設(shè)計(jì)原則一般應(yīng)有以下幾點(diǎn)：
1、閥門的密封性能要好，不但閥板封閉處漏氣速率要小，而且閥體的漏氣速率要小；
2、閥門密封部件耐磨性要好，特別是閥座與閥板密封部件要能反復(fù)使用，壽命長；
3、閥門的通導(dǎo)能力要大；
4、閥門材料應(yīng)具有低飽和蒸汽壓、高耐蝕能力和高化學(xué)穩(wěn)定性；
5、超高真空閥門應(yīng)耐烘烤，烘烤溫度一般不低于150℃，gao450℃；
6、閥門結(jié)構(gòu)要簡單，造型美觀大方，開關(guān)輕便靈活，開關(guān)狀態(tài)應(yīng)有標(biāo)識(shí)，大型閥門應(yīng)有起吊裝置，操作方便，維修容易；
7、閥門零部件加工工藝性要好，表面處理工藝*，閥門連接法蘭應(yīng)符合真空法蘭國家標(biāo)準(zhǔn)要求。
真空閥門通常根據(jù)閥門的工作特性、傳動(dòng)原理、連接方式和用途等進(jìn)行分類。
根據(jù)工作壓力分：低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門。
根據(jù)用途分：截止閥、隔離閥、充（放）氣閥、節(jié)流閥、換向閥、封閉送料閥等。
根據(jù)傳動(dòng)原理分：手動(dòng)閥、手電兩用閥、電磁閥、氣動(dòng)閥和液動(dòng)式真空閥。
根據(jù)材料分：玻璃真空活塞（考克）、金屬真空閥。
根據(jù)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分：擋板閥、翻板閥、蝶閥、球閥、連桿閥、隔板閥、閘閥、雙通閥、三通閥、四通直通閥和直通閥等。