目前氮化鋁基板制備技術(shù)主要有流延成及干壓兩種成型工藝。一般厚基板采用干壓成型制備，具體是將氮化鋁粉料與添加劑混合后加粘結(jié)劑，噴霧造粒，將造粒好的粉體裝入干壓模具進(jìn)行壓制，排膠后燒結(jié)，或者經(jīng)過(guò)等靜壓處理后排膠燒結(jié)，由于壓制坯體均勻性問(wèn)題，成瓷基板往往需要后加工，以達(dá)到所需要的尺寸及精度要求。干壓成型存在以下缺點(diǎn)：1、需要專門制做模具；2、由于壓制的坯體不太均勻，易造成燒結(jié)后尺寸收縮不均勻，產(chǎn)品往往需要后續(xù)切割加工，太厚加工難度較大，成本較高；3、干壓成型往往存在氣孔等缺陷，影響產(chǎn)品強(qiáng)度與導(dǎo)熱率等性能；4、同時(shí)壓制不均勻也易造成燒結(jié)后的產(chǎn)品外觀及不同部位性能存在差異；5、生產(chǎn)效率低。
氮化鋁厚基板的另一種制備方法是采用流延疊層方式增加基板厚度，普通流延疊層存在以下缺點(diǎn)：1.疊層間由于空氣未排凈容易出現(xiàn)氣泡；2.坯片在疊層過(guò)程中容易出現(xiàn)錯(cuò)位現(xiàn)象。采用流延成型制備氮化鋁厚基板需要對(duì)坯體表面進(jìn)行特殊處理，否則易出現(xiàn)分層及產(chǎn)品外觀及性能等問(wèn)題。
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