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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
微分干涉顯微鏡MZL-MX4R
性能特點(diǎn)：
1）MX4R系列為新型FPD檢查顯微鏡，專為L(zhǎng)CD行業(yè)/TFT玻璃/COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查
2）MX4R系列機(jī)型采用4寸、6寸平臺(tái)設(shè)計(jì)，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查
3）MX4R系列，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美
4）MX4R系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長(zhǎng)壽命LED光源
5）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗(yàn)需要，可用于明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察
微分干涉顯微鏡MZL-MX4R標(biāo)準(zhǔn)配置：
放大倍率：50X、100X、200X、500X
光學(xué)系統(tǒng)：無(wú)限遠(yuǎn)色差正光學(xué)系統(tǒng)
目鏡：高眼點(diǎn)大視野下平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm
物鏡：LMPL無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離金相物鏡(5X-DIC10X-
DIC20X-DIC50X)
觀察筒：30度傾斜，倒像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒，分光
比雙目：三目=50：50或100：0
轉(zhuǎn)換器：內(nèi)傾式五孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽
鏡體：粗微調(diào)同軸，粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,帶
粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置，內(nèi)置100-240V寬電壓變
壓器，單路電源輸出
載物臺(tái)：4寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程105*105mm;帶金屬
平板平臺(tái)，右手位X、Y移動(dòng)手輪，配平臺(tái)接口
反射照明系統(tǒng)：帶可變視場(chǎng)光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插
槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿。單顆大功率5W
LED ,白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)
透射照明系統(tǒng)（選配）
偏光裝置：起偏鏡插板，360度旋轉(zhuǎn)式偏鏡插板
攝像附件：0.5X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦
選配件：
目鏡：高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm,視度可調(diào)，可
帶測(cè)微尺
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL15X/16mm
物鏡：LMPL無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距金相物鏡（100X）
觀察筒：25度傾斜，正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒，分光
比雙目=50：50或100：0
載物臺(tái)：6寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程158*158mm，玻璃
工作臺(tái)，右手位X、Y移動(dòng)手輪，帶離合器手柄，可快速移動(dòng)
攝像接口：0.35X、0.65X、1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦
濾色片：反射用干涉濾色片
其他：DIC微分干涉組件
★可選配6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，平臺(tái)面積
445×240mm，行程158×158mm；帶快速移動(dòng)裝置；玻璃
載物臺(tái)板，透反兩用平臺(tái)；
★可選配8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，平臺(tái)面積
450×310mm，行程200×170mm；帶快速移動(dòng)裝置；玻璃
載物臺(tái)板，透反兩用平臺(tái)；
★可選配標(biāo)準(zhǔn)微分干涉（DIC）裝置、OLYMPUS微分干
涉（DIC）裝置
干涉顯微鏡實(shí)拍效果參考圖
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