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SURF-CAL™ 標(biāo)準(zhǔn)微粒 聚苯乙烯微球

SURF-CAL™ 標(biāo)準(zhǔn)微粒 聚苯乙烯微球

Thermo Scientific™ SURF-CAL™ 尺寸標(biāo)準(zhǔn)品用于校準(zhǔn)和維護(hù)掃描表面測(cè)試系統(tǒng) (SSIS)，可以簡(jiǎn)化校準(zhǔn)晶片的準(zhǔn)備工作。可提供的微粒尺寸與儀器生產(chǎn)商要求的校準(zhǔn)點(diǎn)大小一致。

Thermo Fisher Scientific™ 以及半導(dǎo)體行業(yè)和 SEMI 共同確定了校準(zhǔn)掃描表面測(cè)試系統(tǒng)時(shí)所使用的特定粒徑。我們與儀器制造商一起合作，共同開(kāi)發(fā)了這一套符合 SEMI 指南要求的 SURF-CAL™ 系列產(chǎn)品。

• 可提供的微粒尺寸包括半導(dǎo)體國(guó)際技術(shù)藍(lán)圖 (ITRS) 定義的關(guān)鍵的尺寸節(jié)點(diǎn)的大小。

• 將 SURF-CAL™ NIST™ 可溯源聚苯乙烯微球 (PSL) 置于特別選定的晶片上，您就可以執(zhí)行定期校準(zhǔn)檢查，并可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進(jìn)行對(duì)比。

• 您也可以在生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵階段對(duì) SSIS 系統(tǒng)進(jìn)行性能評(píng)估。

• 這一系列標(biāo)準(zhǔn)品懸浮于去離子水中，以終濃度為 3 × 10⁸ 粒子/mL 的 50mL 瓶裝規(guī)格提供。

備注：

PD1100 系列產(chǎn)品以及更小的粒子均以濃度為10¹⁰粒子/mL 的規(guī)格提供，主要用于微分遷移率分析儀 (DMA) 或其他尺寸排阻技術(shù)作為輔助手段的應(yīng)用。

內(nèi)容與儲(chǔ)存

除非另有說(shuō)明，未使用本產(chǎn)品時(shí)，將其冷藏（2°C 至 8°C），請(qǐng)勿冷凍。將瓶子豎直密封存放。用手輕輕顛倒或用渦旋混合器混合產(chǎn)品。