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表面輪廓儀的三類校準(zhǔn)方式探討
閱讀：1903 發(fā)布時(shí)間：2020-10-21
光學(xué)輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
為能準(zhǔn)確地表征表面形貌，光學(xué)輪廓儀需要進(jìn)行一系列校準(zhǔn)標(biāo)定流程：
1.3D(三維)形貌校準(zhǔn)
這一校準(zhǔn)都和形貌測(cè)量的“高度”結(jié)果相關(guān)，所以稱為三維校準(zhǔn)。主要包括對(duì)干涉物鏡參考面形貌誤差的標(biāo)定；以及使用標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階塊對(duì)臺(tái)階高度測(cè)試精度校準(zhǔn)。
2.2D(二維)光強(qiáng)校準(zhǔn)
這一校準(zhǔn)和成像視場(chǎng)范圍內(nèi)的“光強(qiáng)”信號(hào)相關(guān)。輪廓儀有一些功能，可以增強(qiáng)用戶對(duì)樣品表面觀察效果。比如在某觀測(cè)模式下，可以自動(dòng)去除視場(chǎng)中黑白條紋，更清楚地觀測(cè)表面紋理；真彩模式可以復(fù)現(xiàn)表面彩色信息。
由于以上功能相關(guān)標(biāo)定都只涉及“光強(qiáng)”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強(qiáng)校準(zhǔn)。
3.橫向校準(zhǔn)
這一校準(zhǔn)是為了標(biāo)定在當(dāng)前設(shè)置下，每個(gè)像素在橫向上代表的尺寸大小。
光學(xué)輪廓儀的很多測(cè)試結(jié)果和分析設(shè)置，如溝槽寬度，孔徑尺寸，坡度斜率，空間濾波，拼接測(cè)量，都基于或和橫向尺寸相關(guān)。對(duì)于這些結(jié)果和分析，橫向尺寸的標(biāo)定是至關(guān)重要的。