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LOGO!控制器在硅片鋁腐蝕臺的使用總結(jié)

閱讀:811        發(fā)布時間:2019-5-8

LOGO!控制器在硅片鋁腐蝕臺的使用總結(jié)

 

湖南艾歐曼自動化設(shè)備有限公司轉(zhuǎn)載:

  微電子技術(shù)正在悄悄走進航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防,也正在悄悄進入每一個家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我們的前人根本無法想象的。
     微電子技術(shù)是一門綜合性很強的邊緣學(xué)科,自動化和計算機等技術(shù)發(fā)展,使硅片(集成電路)這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價已降到十分低廉的程度。這樣就為電子計算機進入千家萬戶鋪平了道路。使我們的生活越來越現(xiàn)代化。
     無錫市瑞達電子有限公司自1992年開始涉足微電子設(shè)備行業(yè),憑借中國華晶電子集團這個國家微電子基地的優(yōu)勢和經(jīng)驗,對引進的xian進設(shè)備,工裝夾具及引線框料盒(Magazine)等一系列產(chǎn)品進行消化吸收、改進研發(fā),為無錫華潤微電子、紹興華越微電子、吉林華微股份等老牌微電子企業(yè)設(shè)計制造、改造多種設(shè)備、輔助設(shè)備、Magazine 等。 現(xiàn)已擁有硅片清洗機、雙槽清洗機、二氧化硅腐蝕機、去膠機、硅片光刻預(yù)處理系統(tǒng)(OAP)、高反壓玻璃電泳設(shè)備,爐管清洗機,料盒清洗機,甩干機等全自動、半自動半導(dǎo)體設(shè)備的設(shè)計制造能力,與國內(nèi)70多家微電子生產(chǎn)企業(yè)保持良好的業(yè)務(wù)合作關(guān)系,其中外商獨資、合資、臺資等大型企業(yè)達20多家。
     本文主要介紹一種利用西門子LOGO!控制器控制的硅片鋁腐蝕清洗設(shè)備,能夠體驗西門子LOGO!控制器,本人是榮幸之至。之前無論是在學(xué)校里還是在工作中使用到的都是PLC,但是在實際工作中遇到很多控制器其實是沒有必要選擇功能強大的PLC的,簡單的邏輯控制器完夠勝任。這樣對設(shè)備的成本控制也是一個很大的幫助。在工控體驗網(wǎng)中發(fā)現(xiàn)西門子LOGO!控制器有給試用的機會,當(dāng)時就迫不及待的注冊申請了。幸運的是,西門子LOGO!控制器體驗第二期中竟然就抽中了。還是非常感謝工控網(wǎng)和西門子LOGO!控制器給我這次機會!
     在工作人員耐心的詢問了我試用的需求之后,很快就配置好了控制器快遞到我手中,收到快遞之后,發(fā)現(xiàn)了工作人員的工作細致之處,一起寄送的還有控制器與PC的通訊數(shù)據(jù)線和LOGO!控制器實訓(xùn)教程,有了這兩個幫手,對體驗者來可以說是事半功倍了。
     拿到產(chǎn)品首先是小巧的外觀吸引了我,cao作員界面是一個背光顯示屏,詳細閱讀了實訓(xùn)教程,對LOGO!控制器有了大概的了解。立即安裝LOGO!控制器的編程軟件,開始通電試用了。首先按照教程上的介紹進行了一些小的電路路的編程,下載到控制器中看一下控制器與PC的通訊是否正常,之后就是一個漫長的摸索階段了,先熟悉編程的方便,還有怎么能夠使用控制器附帶的操作界面,模擬量輸入輸出怎么使用,界面的的按鍵都是怎么使用的,畫面怎么編輯,畫面和控制程序怎么關(guān)聯(lián),怎么能從界面上修改程序里使用的數(shù)據(jù)寄存器的數(shù)值,如果這些都能實現(xiàn)的話,這樣就剩下了外置定時器、計數(shù)器的費用了,結(jié)果還是很驚喜的,這些都可以實現(xiàn),wei一覺的美中不足的就是LOGO!控制器的輸入輸出端子沒有外置的指示。
     以下介紹LOGO!-0BA6控制器應(yīng)用于腐蝕清洗設(shè)備—硅片鋁腐蝕清洗設(shè)備,介紹順序按照工作的順序進行:
一、系統(tǒng)原理:

    該設(shè)備是用于6吋硅片鋁腐蝕清洗設(shè)備,處理能力為每槽1只6吋片架。具體功能如圖中所示:

按工藝處理順序如圖所示:

二、電氣原理圖和LOGO!控制器輸入輸出接線圖

    按照系統(tǒng)原理設(shè)計電氣控制原理圖和LOGO!控制器輸入輸出端子接線圖如所示:

  

    在這臺設(shè)備上主要是控制電磁閥的開關(guān)動作和電機啟動動作,輸入信號也多為開關(guān)量信號,還有使用到兩個固定模擬量輸出信號,主要用以驅(qū)動純水清洗槽兆聲啟動裝置,兆聲發(fā)生器的工作發(fā)出兆聲的功率由模擬量輸出模塊控制。以設(shè)備的原理和使用功能,這些動作對于簡單的邏輯控制器是完夠勝任的,還有就是LOGO!控制器的輸出電子能夠驅(qū)動10A的電流,這樣對于硬件配置又可以省下不少,這點和常用的PLC相比較有很大的優(yōu)勢所在。還有就是OBA6自帶的顯示屏,不僅僅可以對程序進行編輯,還可以顯示和修改程序內(nèi)部使用計數(shù)器和定時器的設(shè)定值,可以下外置人機界面或者是計數(shù)器或者定時器,因為現(xiàn)在的用戶是需要對設(shè)備中腐蝕的時間、批次和清洗的時間等自由更改,而這個對于LOGO!來說,它本身就全都解決了!

三、

1、鋁腐蝕系統(tǒng)LOGO!控制器梯形圖程序截圖:

 

2、LOGO!控制器輸入輸出表:


3、信息文本顯示設(shè)置界面:
四、安裝調(diào)試
     經(jīng)過以上的準(zhǔn)備,就可以進行終的安裝、布線、程序調(diào)試工作,調(diào)試時使用編程軟件的在線監(jiān)控功能還是很方便的。但是在調(diào)試中發(fā)現(xiàn)了控制器的一點不足之處就是沒有對應(yīng)輸入輸出指示燈指示,雖然控制器本身的顯示屏上是可以查看到輸入輸出的狀態(tài),但是還是沒有控制器本身上帶有硬件指示燈觀察方便。調(diào)試完成后進行了5天的老化試驗,控制器工作*正常。
通過近兩個月的學(xué)習(xí)和摸索,對LOGO!有了一定的了解,也清楚的知道邏輯控制器和PLC的區(qū)別,知道了,其實在實際的工作中,很多控制系統(tǒng)LOGO!控制器就足夠了。只是在使用中不能向PLC一樣隨意使用內(nèi)部繼電器,所有要在有限的內(nèi)部繼電器情況下完成自己的設(shè)計目標(biāo)。在使用的過程中也碰到了大大小小的很多問題,但終都解決了,實現(xiàn)了自己的設(shè)計目的。
     附電氣底板接線實物圖:

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