VICI D-4型PDHID檢測器的主要技術(shù)指標(biāo)如下:
• 檢測限:對大多數(shù)化合物的最小檢測量低至ppb級,可檢測到痕量級別的雜質(zhì),如在高純氦雜質(zhì)分析中,對H2、O2、Ar、N2、CO2、CH4等雜質(zhì)的最小檢測量優(yōu)于20ppb。
• 線性范圍:在很寬的范圍內(nèi)呈線性,線性范圍可達(dá)105。
• 操作溫度:操作溫度可達(dá)400℃。
• 響應(yīng)特性:對無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),且對所有氣體的響應(yīng)值為正,即穩(wěn)定電流增加。
• 載氣及流量:通常使用氦氣作為載氣,載氣流量范圍一般在0-1000ml/min。
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