半導(dǎo)體冷水機是指 應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域，如掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機組。
半導(dǎo)體冷水機的出現(xiàn)以及廣泛應(yīng)用，是隨著科技的不斷發(fā)展，現(xiàn)代超精密制造、加工、測量儀器對工作環(huán)境提出了苛刻要求，尤其是以光刻機為代表的超大規(guī)模集成電路制造設(shè)備，其高集成度導(dǎo)致常規(guī)散熱方法遠遠不能滿足要求，同時投影物鏡的光刻質(zhì)量、運動部件的定位精度以及測量裝置的測量精度等都對環(huán)境參數(shù)的變化特別是溫度的變化尤為敏感。因此，環(huán)境參數(shù)尤其是溫度的控制成為一項關(guān)鍵問題，而半導(dǎo)體冷水機的出現(xiàn)正好解決了這一難題。
半導(dǎo)體冷水機溫度控制系統(tǒng)是保證步進掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器設(shè)備良好工作狀態(tài)的重要組成單元。
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