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東莞品雅專業(yè)維修愛德華螺桿真空泵IH600/1000

愛德華真空泵針對(duì)不同的行業(yè)，推出不同的真空泵配型，不同的行業(yè)，由于使用環(huán)境和工作運(yùn)行狀態(tài)不同，需要的產(chǎn)品功能不同，因此愛德華真空泵產(chǎn)品類型眾多，沒一款產(chǎn)品都是針對(duì)不同的行業(yè)使用有著非常明顯的效果，在高真空和超高真空領(lǐng)域有著非常強(qiáng)大的。

愛德華真空泵IH600/IH1000在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的使用，一般是配合羅茨型真空泵EH2600使用，可以更快的為客戶提供所需真空，同時(shí)螺桿真空泵在處理水分和小型顆粒，腐蝕性氣體非常合適。

Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性。

行業(yè)應(yīng)用：
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

IH600訂貨號(hào)：

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59020957

愛德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600參數(shù)：

IH1000參數(shù)：

iH1000 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59030957