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詳細(xì)介紹
SZ-ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
特點(diǎn)：
主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；電壓電流全自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能，大分類10類。
儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。
技術(shù)參數(shù)：
1. 測(cè)量范圍、分辨率（括號(hào)內(nèi)為可向下拓展1個(gè)數(shù)量級(jí)）
電 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω
（1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω）
電 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm
（1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm）
方塊電阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□
（5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω/□）
2. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)
直 徑： SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm，手持方式不限
SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm，手持方式不限.
長(zhǎng)(高)度： 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測(cè)量方位: 軸向、徑向均可
3. 量程劃分及誤差等級(jí)
| 滿度顯示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 |
| 常規(guī)量程 | kΩ-cm/□ | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | --- | ||||
| 大拓展量程 | --- | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | mΩ-cm/□ | ||||
| 基本誤差 | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB ±4LSB | ±1.0%FSB ±4LSB | ||||
4.工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
5.外形尺寸： 245mm（長(zhǎng)）×220 mm（寬）×95mm（高）
凈 重：≤1.5～2.0kg
探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配探頭，也可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
測(cè)試臺(tái)選配：一般四探針法測(cè)試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測(cè)試臺(tái)。二探針法測(cè)試電阻率測(cè)試選SZT-K型測(cè)試臺(tái)，也可選配SZT-D型測(cè)試臺(tái)以測(cè)試半導(dǎo)體粉末電阻率，選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)測(cè)試橡塑材料電阻率。
儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭、測(cè)試臺(tái)等部分組成。
SZ-M-2型手持式數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
SZ-M-2型手持式數(shù)字式四探針測(cè)試儀具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。
基本技術(shù)參數(shù)
1. 測(cè)量范圍、分辨率
電 阻： 0.010 ～ 9999Ω, 分辨率0.001 ～ 1 Ω
電 阻 率： 0.010～ 2000Ω-cm， 分辨率0.001 ～ 1 Ω-cm
方塊電阻： 0.050～ 2000Ω/□ 分辨率0.001 ～ 1 Ω/□
2. 材料尺寸
手持方式不限材料尺寸，但加配測(cè)試臺(tái)則由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定
直 徑：SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm。
SZT-C方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm。
長(zhǎng)(高)度：測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm。.
測(cè)量方位: 軸向、徑向均可.
3. 量程劃分及誤差等級(jí)
量程（Ω-cm/□） | 9.999 | 99.99 | 999.9 | 9999. |
電阻測(cè)試范圍 | 0.010～9.999 | 9.99～99.99 | 99.99～999.9 | 999.9～9999 |
電阻率/方阻 | 0.010/0.050～9.999 | 9.99～99.99 | 99.99～999.9 | 999.9～2000 |
基本誤差 | ±1%FSB±2LSB | ±2%FSB±2LSB | ||
4) 適配器工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或電池供電
5) 外形尺寸：W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
凈 重：≤0.5kg
探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配探頭，也可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
配ST2253-F01測(cè)硅片電阻率
配ST2253-F01測(cè)硅片電阻率
儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭等二部分組成，也可加配測(cè)試臺(tái)。
主機(jī)主要由數(shù)控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成，自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用一旋鈕輸入；具有零位、滿度自校功能；全自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀采用可充電電池供電，適合手持式變動(dòng)場(chǎng)合操作使用！