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原子力顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)及解析
原子力顯微鏡多少錢(qián)
◆ 激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，穩(wěn)定可靠；
◆ 精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡(jiǎn)單方便；
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域，使針尖垂直于樣品掃描；
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞?，保護(hù)探針及樣品；
◆ 4X物鏡光學(xué)定位，無(wú)需調(diào)焦，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針樣品掃描區(qū)域；
◆ 彈簧懸掛式防震方式，簡(jiǎn)單實(shí)用，防震效果好；
◆ 金屬屏蔽隔音箱，
1.高分辨力能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)掃描電子顯微鏡(SEM)，以及光學(xué)粗糙度儀。樣品表面的三維數(shù)據(jù)滿足了研究、生產(chǎn)、質(zhì)量檢驗(yàn)越來(lái)越微觀化的要求。
2.非破壞性，探針與樣品表面相互作用力為10-8N以下，遠(yuǎn)比以往觸針式粗糙度儀壓力小，因此不會(huì)損傷樣品，也不存在掃描電子顯微鏡的電子束損傷問(wèn)題。另外掃描電子顯微鏡要求對(duì)不導(dǎo)電的樣品進(jìn)行鍍膜處理，而原子力顯微鏡則不需要。
3.應(yīng)用范圍廣，可用于表面觀察、尺寸測(cè)定、表面粗糙測(cè)定、顆粒度解析、突起與凹坑的統(tǒng)計(jì)處理、成膜條件評(píng)價(jià)、保護(hù)層的尺寸臺(tái)階測(cè)定、層間絕緣膜的平整度評(píng)價(jià)、VCD涂層評(píng)價(jià)、定向薄膜的摩擦處理過(guò)程的評(píng)價(jià)、缺陷分析等。
4.軟件處理功能強(qiáng)，其三維圖象顯示其大小、視角、顯示色、光澤可以自由設(shè)定。并可選用網(wǎng)絡(luò)、等高線、線條顯示。圖象處理的宏管理，斷面的形狀與粗糙度解析，形貌解析等多種功能。