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SEM-Base VI-SEM主動隔振光學(xué)平臺系統(tǒng)
  • SEM-Base VI-SEM主動隔振光學(xué)平臺系統(tǒng)

貨物所在地:北京北京市

地: 美國

更新時間:2024-08-02 21:00:07

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SEM主動隔振光學(xué)平臺系統(tǒng)可提供與以前型號平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器,為工具所有者和研究人員提供了一個非常簡單易用的圖形界面,可實現(xiàn)快速系統(tǒng)評估和安全操作。

SEM主動隔振光學(xué)平臺系統(tǒng)

SEM-Base VI是下一代STACIS主動壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強大的控制器和圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI使許多實驗室和設(shè)施達到了滿足工具規(guī)格所需的地面振動水平。

SEM-Base VI采用*的“串行結(jié)構(gòu)",其中的振動傳感器測量地面振動,而不是有效載荷振動。與其他設(shè)計不同,這確保了有效載荷共振不會限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動傳感器是低頻慣性速度傳感器,在難以測量的亞Hz范圍內(nèi)具有靈敏度。結(jié)合我們*的壓電致動器技術(shù),SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實現(xiàn)*的消振水平。

SEM-Base VI可提供與以前型號平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器,為工具所有者和研究人員提供了一個非常簡單易用的圖形界面,可實現(xiàn)快速系統(tǒng)評估和安全操作。通過以太網(wǎng)連接時,DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI,無需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外,用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動的液晶顯示器(LCD)與控制器連接。


注意:請參見SEM-Closure,這是一種專為保護SEM而設(shè)計的整體環(huán)境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個密封和溫控聲學(xué)室中 - 從而保護SEM免受振動、磁場干擾和聲學(xué)噪聲的影響。

SEM-Base VI的優(yōu)勢

硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動控制系統(tǒng)兼容,可以從0.6 Hz開始主動減輕低頻地面振動。

主動慣性振動消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也能實現(xiàn)高水平的振動衰減。

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計 - *的串行設(shè)計和專有的高力壓電技術(shù)可實現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的*越慣性主動振動消除性能。

*集成式的單平臺設(shè)計 - SEM-Base VI設(shè)計與制造的集成化,將安裝平臺的工作簡化到了*致,簡單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。

NOTE:可選SEM-Closure,專門設(shè)計用于保護SEM的完整環(huán)境解決方案。在SEM- Closure密封隔音室內(nèi)可兼顧放置 SEM-Base VI與Mag-Net X,保護SEM免除振動、磁場擾動與聲波噪音的影響。


產(chǎn)品特點

●STACIS*利技術(shù)

●主動慣性振動清除系統(tǒng)

●895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數(shù)商業(yè)SEM

●負載能力:408-1134kg (900-2500 lb.)

●隔振效率1Hz:40-70%

●隔振效率經(jīng)2Hi:90%

●隔振效率>3Hz:90-98%

●6個主動自由度

●安裝容易,調(diào)試簡單

●兼容所有設(shè)備內(nèi)直的振動隔離系統(tǒng)

●電源:100-240VAC, 50/60Hz,<600W

●是否需要空氣:非氣浮系統(tǒng)

●CE與RoHS認證

●*集成式的單平臺設(shè)計

●可安裝腳輪,輕松便攜移動,無需搬運

●兼容SEM-lift系統(tǒng)


規(guī)格

性能規(guī)格

主動自由度

6

主動帶寬

0.6 Hz - 100 Hz

被動固有頻率

標稱值為12 Hz

有效的主動共振頻率

0.5 Hz

1 Hz時的隔振

40% - 70%

2 Hz時的隔振

90%

≥3 Hz時的隔振

90 - 98%

內(nèi)部噪音

<0.1 nm="" rmsd="">

工作負載范圍

標準承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)
           高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)

磁場發(fā)射4英寸(102毫米)處距離平臺

<0.02 g="" broadband="" rmsd="">


設(shè)計、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全

符合CE和RoHS標準

主動隔振元件

小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷

被動隔振元件

單個硬彈性體(無需壓縮空氣源)

振動傳感器元件

向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于
           測量隔振器下方的地面振動,并
           提供與振動運動速度成正比的電壓

主動反饋控制回路

在支撐隔振表面的彈簧
           下方測量、處理和
           支撐隔離面

尺寸(寬 x 深)

35.25 x 44.25英寸
           895 x 1124毫米

高度

標稱6.3英寸(160毫米),
           SEM-Base關(guān)閉時不會改變

工作溫度

50° - 90° F
           10° - 32° C

儲存溫度

-40° - 130° F
           -40° - 55° C

濕度

30 - 60%

系統(tǒng)電源要求

100、120、230、240 VAC
           50/60 Hz AC;<600 W
符合CE標準

地面位移

<800 10="" 20="" in.="" below="" hzd="">


內(nèi)置控制器規(guī)格

處理器

150/75 MHz雙核

采樣率

10 kHz

模擬輸出

16個通道

模擬輸入

16個通道

狀態(tài)燈

單個LED

前面板端口

1個串行USB 2.0
           1個串行Micro-USB
           1個以太網(wǎng)RJ-45
           2個BNC

用戶界面

前面板液晶顯示屏
           超級終端上的字符菜單
           適用于Microsoft Windows的擴展GUI
           嵌入式以太網(wǎng)GUI


性能

使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模擬振動來測試1800磅(818千克)有效載荷

應(yīng)用說明

SEM主動隔振光學(xué)平臺系統(tǒng)?應(yīng)用說明

SEM成像

SEM-Base®在使用日立S-4800之前和之后的圖像

SEM成像

蔡司Auriga FIB-SEM在使用帶Mag-NetX®的SEM-Base®之前和之后的圖像

案例分析

主動壓電消振功能允許在惡劣的城市環(huán)境中使用的電子束和離子束儀器

提高金剛石車削質(zhì)量:

限度地減少表面粗糙度以消除金剛石車削智能設(shè)備相機鏡頭模具上的衍射顏色


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