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在線薄膜雜質(zhì)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)在薄膜生產(chǎn)過(guò)程中的應(yīng)用
檢測(cè)系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)、照相系統(tǒng)、圖像處理系統(tǒng)及缺陷檢測(cè)分級(jí)軟件等
硬件系統(tǒng)：
高速線掃描攝像機(jī)
專業(yè)線光源
像素加速器及記憶棒
軟件系統(tǒng)：
操作系統(tǒng)
薄膜圖像處理缺陷分級(jí)軟件軟件
主要技術(shù)參數(shù)：
在線掃描照相機(jī) | 功能部件: CCD在線掃描照相機(jī) 傳感器：4096像素,傳感器尺寸 40.96mm×10μm 像素尺寸：10µm×10μm 動(dòng)態(tài)速率范圍：最大1200:1 像素頻率：最大160MHz 線頻率：36KHz 尼康鏡頭 檢測(cè)寬度120 mm 分辨率25μm 線性掃描速度：25m/min( 約400mm/s) 過(guò)程速度約32000 lines per 4096像素/s 操作溫度10℃～50 ℃ |
照明系統(tǒng)
| LED 3線（超高亮度/高聚光）亮度可調(diào)，燈長(zhǎng)250mm 薄膜檢測(cè)系統(tǒng)可以自動(dòng)調(diào)節(jié)曝光時(shí)間。測(cè)試系統(tǒng)可根據(jù)薄 膜的透明度自動(dòng)調(diào)節(jié)燈的亮度。同時(shí)照明燈的亮度也可以 通過(guò)軟件手動(dòng)設(shè)置。 |
測(cè)試范圍 | ±2,5 mm (漫反射: ±2,0 mm) |
光源 | 可見(jiàn)光半導(dǎo)體激光(波長(zhǎng): 650 nm, 1 mW max., Class 2) |
光束形狀 | 線形光束 |
光束直徑 | 2.000 x 35μm |
線性度 | 測(cè)量刻度的±1 % |
分辨率 | 0.4 μm |
溫度特性 | 0.02 % 測(cè)量刻度/℃ |
取樣周期 | 最少110μs，標(biāo)準(zhǔn)：500μs |
測(cè)試角 | 45º |
標(biāo)準(zhǔn) | ASTM D 2457 |
霧度測(cè)試范圍 | 0～2000GU（GU＝Gloss units） |
重復(fù)性 | 0～199.9GU : 0.1 GU，200～2000 GU：0.1％ |
再現(xiàn)性 | 0～199.9GU : 0.5GU，200～2000 GU：0.4％ |
測(cè)試傳感器 | 適用于V形 |
光源 | 白光， LED |
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