目錄:深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>薄膜制備設(shè)備>>等離子鍍膜設(shè)備>> VTC-16-3HD小型三靶等離子濺射儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電氣 |
|---|
VTC-16-3HD小型三靶等離子濺射儀是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型)，
基片最大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和
放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅,
它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 主要參數(shù) | ● 輸入電源：220V 通用 功率：< 1KW | |||||
| 濺射腔體 | ● 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H | |||||
| 樣品臺 | ● 一個外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片，可以電動控制移動三個位置 | |||||
| 控制面板 | ● 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏 | |||||
| 真空泵（選配） | ● 用機械泵真空度達(dá) 50 mtorr（僅供參考，詳情請點擊） | |||||
| 進(jìn)氣口 | 一個精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 | |||||
| 靶材 | ● 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm | |||||
| 各種靶材的參數(shù)（僅供參考） | 對于濺射各種金屬靶材，需要摸索最-理想的濺射參數(shù)，下表是本公司實驗所設(shè)置的參數(shù)（僅供參考，詳情請點擊） | |||||
| 靶材種類 | 真空度（Pa） | 濺射電流（mA） | 時間（s） | 濺射次數(shù) | ||
| Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | ||
| Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | ||
| 產(chǎn)品尺寸 | 460mm×330mm×540mm (L×W×H) | |||||
| 凈重 | 50 kg（不包括泵） | |||||
| 使用注意事項 | ● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發(fā)鍍膜機。點擊下面圖片查看細(xì)節(jié) | |||||
| 警告 | ● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體 | |||||
| 認(rèn)證 |
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| 保修期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 | |||||
VTC-16-3HD小型三靶等離子濺射儀
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