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SR-C 緊湊型高精度反射膜厚儀應(yīng)用

一、概述

SR-C 緊湊型高精度反射膜厚儀，利用光學(xué)干涉原理，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射光譜，快速準(zhǔn)確測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。

■ 光學(xué)薄膜測量解決方案；

■ 非接觸、非破壞測量；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析；

■ 膜厚重復(fù)性測量精度：0.02nm

■ 配置靈活、支持定制化

二、產(chǎn)品特點

■ 采用高強度鹵素?zé)艄庠矗庾V覆蓋深紫外到近紅外范圍；

■ 采用光機電高度整合一體化設(shè)計，體積小，操作簡便；

■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層；

■ 配置強大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息；

三、產(chǎn)品應(yīng)用 

反射膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)保護膜、有機薄膜、無機薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。

四、技術(shù)參數(shù)

型號

基本功能

光譜范圍

光譜分辨率

膜厚測量范圍

測量時間

重復(fù)性測量精度

測量精度

樣件臺尺寸

光斑大小

SR-C

反射率、膜厚、n/k 等參數(shù)

380-1000nm(可擴展至190-1650nm)

<0.8nm@240-1000nm;<3.5nm@1000-1650nm

TL

0.02nm

0.2%或 2nm(取較大值)

標(biāo)配6寸(可擴展 12 寸)

標(biāo)準(zhǔn) 1.5mm

重復(fù)精度指標(biāo)僅針對100nm $i02 硅片 30 次重復(fù)測量