ENT-5 納米壓痕試驗(yàn)機(jī)

適用于各種材料：

l  電鍍、硬涂層薄層

l  樹(shù)脂、聚合物薄膜

l  超薄DLC涂層

l  功能性樹(shù)脂、表面改性層

l  細(xì)顆粒和粉末材料

第5代Elionix納米壓痕測(cè)試儀

l  通過(guò)抑制測(cè)量環(huán)境中的干擾實(shí)現(xiàn)高數(shù)據(jù)再現(xiàn)性

l  可靠精密的“日本制造"

l  支持從0.5μN(yùn)到2,000mN的廣泛測(cè)試負(fù)載

納米壓痕測(cè)試

l  可以獲得薄膜或表層的硬度和彈性模量等機(jī)械特性。分析加載/卸載曲線以確定特性。

l  分析加載/卸載曲線以確定特性，無(wú)需觀察壓痕

l  符合ISO14577-1 / JIS Z 2255

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.    溫度控制

防止樣品和試驗(yàn)機(jī)熱膨脹

環(huán)境隔離罩內(nèi)溫度控制在±0.1℃

機(jī)架和樣品架/載物臺(tái)使用低熱膨脹材料（Nobinite）

減少環(huán)境氣流的影響

2.    高精度定位平臺(tái)

采用Elionix電子束光刻系統(tǒng)內(nèi)部開(kāi)發(fā)的高精度“Kusabi"平臺(tái)

0.1um定位步長(zhǎng)

以2,000倍的放大倍率觀察材料并設(shè)置測(cè)量點(diǎn)。

3.    主動(dòng)隔振

抗振楔形高精度平臺(tái)

主動(dòng)隔振臺(tái)

4.    軟件

日常檢查的彈出提示：壓頭頂端校正，溫度漂移校正。

易于使用的操作性

5.    數(shù)據(jù)再現(xiàn)性

通過(guò)抑制振動(dòng)和溫度變化引起的干擾提高數(shù)據(jù)再現(xiàn)性。

即使連續(xù)測(cè)量也能獲得穩(wěn)定數(shù)據(jù)

6.    可維護(hù)性

易于更換裝載裝置

易于更換裝載裝置，將停機(jī)時(shí)間降低

技術(shù)參數(shù)：

可選配件：

可選測(cè)試：