六軸力傳感器分類
   

       電容式則是將電容式力敏傳感器的核心部分是對壓力敏感的電容器。 

       力敏電容器的電容量是由電面積和兩個電間的距離決定的，當硅膜片兩邊存在壓力差時，硅膜片產(chǎn)生形變，板間的間距發(fā)生變化，從而引起電容量的變化，電容變化量與壓力差有關(guān)。 光學(xué)式多維力傳感器通過光學(xué)傳感器來測量微小變形，從而測出多維力和力矩。

六軸力傳感器分類

      壓電式多維力傳感器是另一種比較常用的測力裝置，它的基本測力原理是在外部應(yīng)力的作用下壓電材料產(chǎn)生電荷，當外力變化時，壓電材料表面的電荷隨之變化帶來輸出電壓信號的變化。    六軸力傳感器分類       壓電傳感器的主要特點是其有很高的固有頻率 ( 20OkHz ) ，特別適合動態(tài)測量。石英晶片的合理布置是傳感器設(shè)計的關(guān)鍵?？朔鞲衅鞲飨蜉d荷間的相互干擾是提高壓電傳感器測量精度的途徑。