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勻膠機的選購方式

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勻膠機是在旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。

 

選購巧

從其原理來說,可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)

 

旋轉(zhuǎn)速度

轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標定實時的轉(zhuǎn)速。

 

真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)

真空泵定要無油的,壓力標定準確,油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況。

 

材質(zhì)的選擇

對于半導體化行業(yè)的應用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。

旋轉(zhuǎn)涂覆術(shù)

旋轉(zhuǎn)涂覆術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機。又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是樣的,即在速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

 

從其原理來說,勻膠機有以下兩個特點。

 

(1)旋轉(zhuǎn)速度

 

轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。

 

(2)真空吸附系統(tǒng)

 

真空泵般采用無油泵,即通常說的干泵,因為何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,還會讓滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成*堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制,當真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)。

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