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SC100D勻膠顯影機是在SC100標準型勻膠機的基礎(chǔ)上增加了顯影系統(tǒng)，被設計為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。
SC100D在SC100勻膠機上增加了顯影液防濺罩，多可配備四路噴淋系統(tǒng)，包括顯影液和去離子水等，以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動噴液系統(tǒng)包括：噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
Best tools 勻膠顯影一體機 SC100D
圖片
簡介
SC100D勻膠顯影機是在SC100標準型勻膠機的基礎(chǔ)上增加了顯影系統(tǒng)，被設計為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。
SC100D在SC100勻膠機上增加了顯影液防濺罩，多可配備四路噴淋系統(tǒng)，包括顯影液和去離子水等，以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動噴液系統(tǒng)包括：噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。
SC100D使用工業(yè)級伺服馬達和高級PLC控制，7寸全彩觸屏人機操作界面。設計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可進行程控操作，具有優(yōu)異的性價比。
規(guī)格參數(shù)
功能圖解
應用系統(tǒng)
PDMS芯片制作
MEMS器件加工