青島電子工廠中潔凈室的幾種型式

         近年來，電子產品生產用潔凈室有多種形式，根據在電子工廠中已實際應用的各種類型的潔凈室形式進行簡單描述。

     1根據電子產品生產工藝要求，空氣潔凈度等級和平面或空間布置要求，微電子廠房潔凈室布置形式一般有隧道式或港灣式、開放式、島形布置。如集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5〞6〞芯片制造廠，生產工藝設備跨潔凈生產區(qū)和設備維護區(qū)，潔凈生產區(qū)對潔凈度要求嚴格，而維護區(qū)的空氣潔凈度等級較低。目前8〞12〞芯片制造工廠普遍采用開放式潔凈室加微環(huán)境的方式，將芯片制造過程對空氣潔凈室的潔凈度等級只需要5-6級，這種潔凈室形式即可做到工藝布置的靈活性，又可做到減少建設投資和降低能量消耗、降低運行費用等。

     2按氣流流型劃分潔凈室時，可劃分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。1）單層潔凈室，在單向流潔凈生產區(qū)的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2）多層潔凈室，在單向流潔凈生產區(qū)吊頂格柵以上設有送風靜壓箱貨循環(huán)空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層；在單向流潔凈生產區(qū)的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術層根據需要可以一層或二層。

         青島電子工廠中潔凈室的幾種型式，非單向流潔凈室是采用非單向流氣流流型的潔凈室，主要用于空氣潔凈度等級為6-9級的潔凈室，此類潔凈室當單側回風室其寬度一般不大于6m?；旌狭鳚崈羰沂窃谕粷崈羰覂?，同時存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。