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1、探針臺(tái) Stage 尺寸：70mm(L)X40mm(W)X38mm(H );

　　2、探針臺(tái) Stage 運(yùn)動(dòng)：X，Y，Z 三軸直角坐標(biāo);

　　3、探針臺(tái) Stage 行程：12mm(X，Y，Z);

　　4、X，Y，Z 粗調(diào)分辨率：1nm;

　　5、探針臺(tái) Stage 精調(diào)范圍：1nm(X,Y,Z);

　　6、X，Y，Z 精調(diào)分辨率：1nm;

　　7、探針臺(tái) Stage 數(shù)：2、4;

　　8、探針臺(tái) Stage 控制：操縱桿，按鍵和旋鈕;

　　9、電測(cè)試探頭：2、4;

　　10、工作電源：220VAC 2A;

　　11、納米實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)探針機(jī)構(gòu)與樣品臺(tái)采用可拆卸式固定方式，不影響電鏡的正常運(yùn)動(dòng)模式;

　　12、納米實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)探針頭采用插接式結(jié)構(gòu)，基座上配有探針、及電測(cè)試等的通用機(jī)械、電氣接口;耐壓為 1000 V;

　　13、操作控制器具有操縱桿和旋鈕兩種操控方式，可靈活切換控制探針的三個(gè)運(yùn)動(dòng)方向，具有粗精四級(jí)運(yùn)動(dòng)精度控制，四個(gè)探針的運(yùn)動(dòng)也可靈活切換控制;

　　14、電測(cè)試探頭采用機(jī)械連接固定方式，安裝角度可調(diào)，拆裝、固定使用方便;

　　15、實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)與電鏡無縫連接，保持掃描電鏡真空腔內(nèi)的原有真空度。