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詳細介紹
半導體實驗室氣路設計理念
安全理念，我們做到了對實驗設備可能產生的有害廢氣、廢水進行特殊設計、處理，保障實驗人員的身體健康;在安全出口方面考慮到的都是根據具體情況設計的zui短的逃生路線，優(yōu)化洗眼器及緊急沖淋裝置的位置，增加了發(fā)生以外事故的逃生幾率，減少了突發(fā)情況
合理的布局，對實驗室家具、介質系統(tǒng)進行正確設計、合理選材、規(guī)范施工 ，根據人體工程學原理，生產出zui人性化的設備，符合絕大部分人的要求。同時在通風設施上的安裝布局都是按照標準來執(zhí)行的，保證了實驗人員有一個良好的工作環(huán)境。
半導體實驗室氣路
近年來實驗室投資的不斷加大，儀器設備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統(tǒng)的供氣模式已經難以滿足儀器設備增加的需求，同時分散供氣模式帶來的實驗室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對實驗室的管理和維護造成了困難，為了解決以上兩個方面的問題，就需要一套安全性高且能實現集中分配供氣的系統(tǒng)完成從氣源向儀器的供氣，這就是實驗室高純氣體管道系統(tǒng)的功能所在。
實驗室氣體采用集中供氣方式，由實驗室外專用供氣區(qū)域用管路引進。除了潔凈空氣由空氣壓縮系統(tǒng)直接產生外，其余氣體都是采用高壓氣瓶供氣。每種氣體都要有主供和備供氣瓶，并安裝自動切換面板進行供氣控制，保證不間斷供氣。另外主要的控制閥門和減壓閥門都應安裝在實驗室外。實驗室氣體由不銹鋼管路輸送，一般1.5米內并必須有支架固定在墻面。在實驗室內所有管路安裝在天花板下方，沿墻進行明設。所有管路標明連接的氣體。氣體管路每隔1.5米的距離，都要有明確標示，同時指示氣體的流向。所有減壓器都需要連接一條通出氣體存藏區(qū)的排氣管路。易燃、氧化氣體排氣管路不能并在一起。所有設計和施工必須符合相關的規(guī)范和要求，如：《科學實驗室建筑設計規(guī)范》–JGJ 91-93；《氫氣使用安全技術規(guī)程》-GB 4962-1985；《現場設備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范》-GB50236-1998。
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