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詳細(xì)介紹
Torrey Pines 程控晶圓加熱板是一種可編程的數(shù)字電熱板，專為烘烤晶圓硅片而設(shè)計(jì)。 在手動操作模式中，只需設(shè)置一個(gè)目標(biāo)溫度，設(shè)備就會達(dá)到并保持該精確溫度在±1°C之內(nèi)。 在編程模式下，程序可以存儲在內(nèi)存中，以便即時(shí)調(diào)用和使用。 存儲的程序?qū)⒁淮斡忠淮?相同地自動運(yùn)行。
根據(jù)需要，程序可以是簡單的也可以是復(fù)雜的。 可以存儲多個(gè)溫度，溫度上升速率（如果需要）和停留時(shí)間。 這些程序可以編寫并存儲在本機(jī)隨附的分離式控制器中，或者當(dāng)用戶在后部的RS-232 I / O端口連接PC上來編寫程序并通過PC運(yùn)行該程序時(shí)，程序可以根據(jù)需要盡可能的簡單或復(fù)雜。
特征
1.直徑為354.24毫米（13.875英寸）的加熱表面
2.研磨的平板鋁非常適合12英寸（304.8毫米）或更小的硅晶片
3.可通過RS232 I / O端口或通過控制器從PC或工業(yè)控制器進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
4.可使用隨附的分離式控制器對加熱板進(jìn)行控制和編程
5.溫度范圍從室溫到350°C
6.可讀且可設(shè)置為1°C
7.精度為設(shè)定值的1％
8.從加熱板表面中間到側(cè)面0.75 in范圍內(nèi)的溫度均勻度優(yōu)于1％
9.溫度穩(wěn)定性±1°C
10.校準(zhǔn)至0.1°C以確保準(zhǔn)確性
11.控制器可存儲5個(gè)單獨(dú)的程序，每個(gè)程序多可存儲10個(gè)步驟，以進(jìn)行各種手動操作，可重復(fù)的樣品運(yùn)行
12.程序可自動重復(fù)1到99次，如果需要，可以無限次重復(fù)
13.變溫可以1°C /小時(shí)的基數(shù)增量從1°C到450°C上升或下降
14.1500 W加熱器功率
15.機(jī)箱底部的*溫度指示照明環(huán)。顏色從藍(lán)色（無目標(biāo)溫度）變?yōu)辄S色（加熱至50°C以下）至紅色（加熱至50°C以上）。指示燈將閃爍，直到溫度穩(wěn)定在±0.2°C之內(nèi)
16.內(nèi)置倒數(shù)計(jì)時(shí)器，帶有聲音警報(bào)和可設(shè)置的自動關(guān)閉