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數(shù)字式四探針測試儀

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  • 型號 AA54-RTS-4型
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  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
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更新時間:2017-11-14 14:53:47瀏覽次數(shù):373

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產(chǎn)品簡介

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數(shù)字式四探針測試儀
產(chǎn)品介紹
可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動測量功能,自動選擇適合樣品測試電流量程;

詳細(xì)介紹

數(shù)字式四探針測試儀

產(chǎn)品介紹

可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動測量功能,自動選擇適合樣品測試電流量程;  

高速并口通訊接口,連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒;  

AA54-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。  

儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。  

儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。  

本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。  

AA54-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。  

測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。  

技術(shù)指標(biāo)  

測量范圍電阻率:0.0001~2000Ω.cm(可擴展);  
方塊電阻:0.001~20000Ω/□(可擴展);
電導(dǎo)率:0.0005~10000 s/cm;
電阻:0.0001~2000Ω.cm;
可測晶片直徑140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;
四探針探頭基本指標(biāo)間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
( 按JJG508-87進(jìn)行)
整機測量zui大相對誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%
測試模式可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能(選配)軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
計算機通訊接口并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強光直射;

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