四探針測試儀

產(chǎn)品介紹

AA54-SDY-4型四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準設(shè)計的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試專用儀器.  

儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,采用平面輕觸式開關(guān)控制,及各種工作狀態(tài)LED指示.應(yīng)用微計算機技術(shù)，利用HQ-710E型測量數(shù)據(jù)處理器，使得測量讀數(shù)更加直觀、快速，并能實現(xiàn)晶片厚度自行修正，打印出全部預(yù)置和測量、計算數(shù)據(jù)。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。  

AA54-SDY4本儀器可滿足半導(dǎo)體材料、器件的研究生產(chǎn)單位對材料(棒材、片材)電阻率及擴散層、離子注入層、異型外延層和導(dǎo)電薄膜方塊電阻測量的需要。  

技術(shù)指標  

1測量范圍:電阻率:0.001-200Ω.cm(可擴展);  

方塊電阻:0.01-2000Ω/口(可擴展);  

2可測晶片直徑(zui大):100mm(配J-2B型手動測試臺)  

200mm(配J-51型手動測試臺)  

3恒流源:電流量程分為0.1、1、10、100(mA)四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào).誤差<±0.3%  

4數(shù)字電壓表:  

量程:0-199.99mV;分辨率:10μV  

顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、小數(shù)點、超量程自動顯示。  

輸入阻抗>1000MΩ;精度:±0.1%.  

5zui大電阻測量誤差(按JJG508-87進行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.  

6四探針探頭:  

間距:1±0.01mm;針間絕緣電阻≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3%  

探針壓力:TZT-9A/9B:12-16牛頓(總力)TZT-9C/9D5-8牛頓(總力)  

7整機不確定度:(用硅標樣片測試)≤5%(0.01-180Ω.cm)  

8外形尺寸:電氣主機:360mm×320mm×100mm；數(shù)據(jù)處理器：300mm×210mm×105mm  

9數(shù)據(jù)處理器功能:  

A鍵盤控制測量取數(shù),自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示出平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正;  

B鍵盤控制數(shù)據(jù)處理,運算電阻率平均值和電阻率值zui大百分變化及平均百分變化;  

C鍵盤控制打印全部測量數(shù)據(jù).測量條件、zui大電阻率值、zui小電阻率值、電阻率zui大百分變化及平均百分變化。  

10儀器重量：電氣主機：約4kg；測試臺：約10kg，數(shù)據(jù)處理器：約2.5kg  

11測試環(huán)境：溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無高頻干擾；無強光照射。