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日立掃描電鏡能譜分析小技巧

閱讀:673      發(fā)布時間:2021-7-15
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   日立掃描電鏡是利用精細(xì)聚焦的電子束照射在樣品表面,電子束與樣品相互作用產(chǎn)生各種信號,其中包括二次電子、背散射電子、特征X射線等不同能量的光子,這些信號經(jīng)相應(yīng)的探測器接收,用于研究各種材料的微觀形貌;配上能譜儀、波譜儀等附件,可對材料元素成分進(jìn)行分析。
 
  日立掃描電鏡的附件常見的是X射線能譜儀,在各種材料的分析中起著*的作用。
 
  日立掃描電鏡結(jié)合能譜儀使用,能進(jìn)行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。其工作原理是:各種元素具有自己的X射線特征波長,特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量E,能能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進(jìn)行成分分析的。
 
  能譜定量分析的準(zhǔn)確性與樣品的制樣過程,樣品的導(dǎo)電性,元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關(guān)。因此,在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差(數(shù)據(jù)庫及標(biāo)準(zhǔn)),我們無法消除,也有一些人為因素產(chǎn)生的誤差(操作方法),這些因素都會導(dǎo)致能譜定量不準(zhǔn)確。
 
  那么,掃描電鏡除了可以利用能譜分析能夠根據(jù)襯度變化判斷元素在不同位置的富集程度,還能判斷微量元素的分布。這里我還要交給大家一個小技巧:能譜使用前要校準(zhǔn),要使樣品平整,分析區(qū)域均質(zhì)、無污染,還要讓樣品導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性良好。

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