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無掩膜光刻機(jī)
  • 無掩膜光刻機(jī)

貨物所在地：北京北京市

所在地： 日本

更新時(shí)間：2024-09-17 21:00:05

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無掩膜顯微型LED曝光裝置
UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結(jié)合的縮小投影型無掩模曝光系統(tǒng)，其*傳統(tǒng)系統(tǒng)（用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統(tǒng)） 可以使用專門為此目的開發(fā)的軟件來創(chuàng)建想要的圖案

 

  無掩膜顯微型LED曝光裝置概述：
 

  • 顯微鏡LED曝光單元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的圖案投影曝光裝置。
  • 使用金相顯微鏡盒LED光源DLP投影儀，將具有機(jī)微米分辨率的任意圖案投影到涂有抗蝕劑的基板上進(jìn)行曝光。
  • 圖案可以在PC上自由創(chuàng)建。
  • 因?yàn)榭梢栽谄胀ǖ氖覂?nèi)環(huán)境中在各種大小盒形狀的單晶薄片上形成電極，所以它比電子束光刻便宜且簡單，不需要制造昂貴的電極圖案掩膜。


顯      無掩膜顯微型LED曝光裝置應(yīng)用：
 

  • 薄膜FET和霍爾效應(yīng)測量樣品的電極形成。
  • 從石墨烯/鉬原石中剝離電極形成并評估其特性。
  • 研發(fā)應(yīng)用的圖案形成。


    無掩膜顯微型LED曝光裝置參數(shù)：
 

  • 由于顯微鏡和DLP的結(jié)合，可以用很低的成本來構(gòu)建系統(tǒng)
  • 易于使用的軟件可以輕松的創(chuàng)建曝光圖案
  • 通過物鏡放大倍率圖案，可以進(jìn)行大范圍的批量曝光
  • 可以連接到您自己的顯微鏡上（選項(xiàng)）
  • 分辨率在微米級
  • 曝光范圍：大2.5mm×1.5mm    小100um×60um
  • 可以連接到您自己的顯微鏡上（選項(xiàng)）
  • 分辨率在微米級
  • 曝光范圍：大2.5mm×1.5mm    小100um×60um

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