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當(dāng)前位置：北京歐屹科技有限公司> 供求商機(jī)> DPU 150-DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)
DPU 桌面級真空鍍膜系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)、分布式布置，兼容手動(dòng)控制和電腦軟件聯(lián)網(wǎng)控制方式，非常適合以積木式方式來靈活定位于為真空鍍膜方向教學(xué)提供一套高效、靈活、直觀的動(dòng)手實(shí)踐工具，解決目前學(xué)生面對設(shè)備只看不能動(dòng)手組裝搭建的問題。同時(shí)也適合真空鍍膜科研前期方案試探，快速（快10倍效率）、低成本。此外也適用于非真空鍍膜專業(yè)人士用于產(chǎn)品開發(fā)時(shí)，進(jìn)行簡單的薄膜表面處理工序。
DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
| 技術(shù)規(guī)格 | 參數(shù) |
| 泵組 | 渦輪泵機(jī)組TPS80-渦輪泵機(jī)組TPS150 |
| 本底真空 | <5*10-6 Torr |
| 泵組啟動(dòng)時(shí)間 | <120 s |
| 腔室模塊 | 標(biāo)準(zhǔn)ISO腔體，~Ø 100-300 mm， 尺寸可定制 |
| 靶源模塊 | 2、3、4英寸磁控靶源 +多弧源MAC100（Ø 100 mm）可選 陽極層離子源IAS60+ ICP40 射頻清洗源可選 |
| 電源模塊 | 各種品牌直流、脈沖、射頻等電源可選 |
| 氣體控制 | 氣體控制器模塊+MFC流量計(jì)控制 |
| 真空規(guī) | 德國Leybold Vacuum全量程復(fù)合規(guī)+MKS 皮拉尼規(guī) |
| 操作方式 | 手動(dòng)觸摸屏操作+電腦聯(lián)網(wǎng)控制 |
| 電源 | 220V AC，50/60Hz 接地三腳插頭 |
| 質(zhì)量保證 | 一年免費(fèi)/終身維護(hù) |
| 備注 | 以上所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請 |
DPU桌面級鍍膜系統(tǒng)
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