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薄膜應(yīng)力測(cè)量儀
Based on classic Stoney formula principle, advanced control technologyand smart operationmake the FST1000 film stress tester particularly suit-able for measurement in fast characterization of film residual stress.
基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測(cè)量原理，采用良好控制技術(shù)和傻瓜化的操作，使得FST1000薄膜應(yīng)量儀特別適合于要求快速測(cè)量常規(guī)薄膜殘余應(yīng)力。薄膜應(yīng)力測(cè)量儀源自中科院金屬研究所和深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院相關(guān)研究成果轉(zhuǎn)化！號(hào)：CN204854624U；CN203688116U；CN100465615C
薄膜應(yīng)力測(cè)量儀產(chǎn)品規(guī)格：
| 技術(shù)規(guī)格 | 參數(shù) |
| 基本原理 | 曲率法Stoney公式 |
| 薄膜應(yīng)力測(cè)試范圍 | 5 MPa～50GPa |
| 曲率半徑測(cè)試范圍 | 0.3～ 20 m |
| 薄膜應(yīng)力計(jì)算誤差 | ＜±2% |
| 曲率半徑測(cè)試誤差 | ＜±1% |
| 測(cè)試平臺(tái)行程 | X方向：100 mm / Y方向：50 mm |
| 樣品尺寸 | 長方形樣品 |
| 樣品定位 | 自動(dòng)定位原點(diǎn) |
| 樣品校正 | 可計(jì)算校正原始表面不平直影響（對(duì)減模式） |
| 主要功能 | 自動(dòng)測(cè)量采集計(jì)算曲率半徑和薄膜應(yīng)力 |
| 電源電壓 | 220 VAC電源適配器 |
| 電源功耗 | 280 Watts Maximum |
| 通訊連接端口 | USB 2.0 |
| 工作溫度 | 0～50 ºC |
| 操作軟件 | 視窗界面/適用于Windows XP/Windows 7系統(tǒng) |
| 操作電腦 | 用戶自備或選配 |
| 外形尺寸 | 50×39×34cm |
| 重量 | ～ 40K g |
| 質(zhì)量保證 | 一 一年免費(fèi)/終身維護(hù) |
| 備注 | 以上所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請(qǐng) |
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