岡本減薄機(jī)

岡本減薄機(jī)設(shè)備特點(diǎn)：

1.研削加工技術(shù)：日本機(jī)械學(xué)會(huì)授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎(jiǎng)。

2.機(jī)械精度的調(diào)整方法：通過(guò)主軸進(jìn)行調(diào)整（*），因?yàn)榭蛇M(jìn)行原點(diǎn)定位，所以精度調(diào)整相當(dāng)容易；可2處調(diào)節(jié)。

3.標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)方式：齒軸+定位銷進(jìn)行定位，長(zhǎng)年使用也不會(huì)發(fā)生位移。

4. 標(biāo)準(zhǔn)潤(rùn)滑方式：潤(rùn)滑油及防護(hù)罩，防止進(jìn)入異物造成磨損。

5. 設(shè)備剛性：高剛性，不會(huì)因老化造成精度變化，部件由岡本自產(chǎn)鑄金一體化生產(chǎn)。

設(shè)備指標(biāo)：

1. 晶圓尺寸： 4”、5”、6”、8” 晶圓厚度： 1000μm

2. 研磨方法 向下進(jìn)給式研磨 在線測(cè)量厚度控制

3. 操作方法 全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)

4. 研磨軸單元 軸的數(shù)量 2個(gè)（粗磨和精磨）軸的轉(zhuǎn)速： 0-3600 RPM 軸承： 氣懸浮軸承 AB 150R（Carbon graphite） 軸承冷卻方式：氣冷（水冷可選） 軸承驅(qū)動(dòng)電機(jī)： 2.2KW，4P 軸承行程： 150mm 軸承快速進(jìn)給： 200mm/min 軸承進(jìn)給速率： 1999μm/min 軸的進(jìn)給電機(jī)：200W，交流伺服電機(jī) 可裝研磨輪：250mm

負(fù)載顯示：監(jiān)控操作面板 研磨輪修整：半自動(dòng) 主軸角度調(diào)整：電動(dòng)主軸角度調(diào)整可作為選擇項(xiàng)

5. 步進(jìn)轉(zhuǎn)位工作盤 軸承：靜*承（油膜） 驅(qū)動(dòng)電機(jī)： 0.4KW，交流伺服電機(jī)

6. 工件主軸 軸承 機(jī)械式軸承（可選空*承） 驅(qū)動(dòng)電機(jī)： 0.75KW，交流伺服電機(jī)

7. 真空吸附臺(tái) 數(shù)量： 3個(gè) 尺寸： 4-8寸兼容 材質(zhì)：多孔陶瓷 轉(zhuǎn)速：300rpm 修磨速度設(shè)定： 0-300rpm 工作臺(tái)清洗方法： 去離子水和陶瓷環(huán)

8. 晶圓清洗方法 去離子水及毛刷清洗 甩干及空氣吹干

9. 精度調(diào)整方法 通過(guò)主軸調(diào)整

10. 自動(dòng)測(cè)定設(shè)備 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)： 在線式雙探針