岡本減薄機
岡本減薄機設備特點：
1.研削加工技術：日本機械學會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術獎。
2.機械精度的調(diào)整方法：通過主軸進行調(diào)整（*），因為可進行原點定位，所以精度調(diào)整相當容易；可2處調(diào)節(jié)。
3.標準驅(qū)動方式：齒軸+定位銷進行定位，長年使用也不會發(fā)生位移。
4. 標準潤滑方式：潤滑油及防護罩，防止進入異物造成磨損。
5. 設備剛性：高剛性，不會因老化造成精度變化，部件由岡本自產(chǎn)鑄金一體化生產(chǎn)。
設備指標：
1. 晶圓尺寸： 4”、5”、6”、8” 晶圓厚度： 1000μm
2. 研磨方法 向下進給式研磨 在線測量厚度控制
3. 操作方法 全自動、半自動、手動
4. 研磨軸單元 軸的數(shù)量 2個（粗磨和精磨）軸的轉(zhuǎn)速： 0-3600 RPM 軸承： 氣懸浮軸承 AB 150R（Carbon graphite） 軸承冷卻方式：氣冷（水冷可選） 軸承驅(qū)動電機： 2.2KW，4P 軸承行程： 150mm 軸承快速進給： 200mm/min 軸承進給速率： 1999μm/min 軸的進給電機：200W，交流伺服電機 可裝研磨輪：250mm
負載顯示：監(jiān)控操作面板 研磨輪修整：半自動 主軸角度調(diào)整：電動主軸角度調(diào)整可作為選擇項
5. 步進轉(zhuǎn)位工作盤 軸承：靜*承（油膜） 驅(qū)動電機： 0.4KW，交流伺服電機
6. 工件主軸 軸承 機械式軸承（可選空*承） 驅(qū)動電機： 0.75KW，交流伺服電機
7. 真空吸附臺 數(shù)量： 3個 尺寸： 4-8寸兼容 材質(zhì)：多孔陶瓷 轉(zhuǎn)速：300rpm 修磨速度設定： 0-300rpm 工作臺清洗方法： 去離子水和陶瓷環(huán)
8. 晶圓清洗方法 去離子水及毛刷清洗 甩干及空氣吹干
9. 精度調(diào)整方法 通過主軸調(diào)整
10. 自動測定設備 晶圓厚度測量系統(tǒng)： 在線式雙探針
