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●半導(dǎo)體晶圓

●半導(dǎo)體掩膜版基板

●同步輻射

●光刻機(jī)光學(xué)元件

●航空航天折返成像系統(tǒng)

●空間光學(xué)器件

●強(qiáng)激光平板玻璃測量等

實(shí)現(xiàn)大口徑光學(xué)表面面形、透射波前、光學(xué)均勻性等參數(shù)的檢測。

                     （2）產(chǎn)品綜述

300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產(chǎn)品之一。它采用經(jīng)典的斐索型共光路設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)簡單、在適用于多種被測樣品的前提下，使用數(shù)字化相移分析方法實(shí)現(xiàn)高精度、多功能的檢測。

  慧利儀器300mm通用組合水平式檢測干涉儀不僅實(shí)現(xiàn)了干涉測量技術(shù)從小口徑到大口徑的更新拓展，而且填了國內(nèi)制造業(yè)和國家質(zhì)檢部]對高精度平面檢測設(shè)備需求的空白。

                   （3）參數(shù)性能

◆超精密平面/球面面形測量

◆光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)和校準(zhǔn)

◆光學(xué)組件透射波前測量

◆光學(xué)均勻性測量

◆平行度測量

◆角錐角度測量

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