詳細介紹
原裝Vat Vakuumventile板閥
Vat Vakuumventile是的高性能真空閥、多閥組件、真空模塊和金屬隔膜波紋管的開發(fā)商和生產(chǎn)商。Vat Vakuumventile的產(chǎn)品和服務主要用于半導體、顯示器和太陽能電池板制造,以及在特殊真空條件下運行的各種工業(yè)和研究應用。
Vat真空閥適用于高真空、超高真空和超高真空的所有真空水平。Vat真空閥是在潔凈室條件下制造的,并根據(jù)不同的應用進行定制。除了高純度外,Vat真空閥還具有高精度的功能和耐用性,即使在的工藝條件下也能保持良好的性能。
一、主要產(chǎn)品
Vat擁有全面的真空控制閥、真空隔離閥、真空擺閥、真空滑閥和全金屬真空閥,為各種應用提供最佳解決方案。
1.真空控制閥
Vat真空控制閥設計堅固,特別適用于氣流中可能存在顆粒的惡劣下游工藝。即使在顆粒負荷和沉積物較高的情況下,控制閥也能保持正常工作。Vat真空控制閥具有出色的防顆粒特性,關閉板的接觸運動和最佳阻尼開閉運動消除了傳統(tǒng)閥門常見的沖擊和振動。Vat真空控制閥采用各種鎖定技術(shù),即使在壓縮空氣或電源出現(xiàn)故障的情況下,仍能安全地保持真空。
2.真空隔離閥
真空隔離閥是一種用于將真空系統(tǒng)的一部分與系統(tǒng)的其余部分隔離的真空閥,防止氣體或空氣進入或離開隔離區(qū)域,從而保持該區(qū)域的真空度。Vat真空隔離閥通常由鋁或不銹鋼制成,并帶有彈性體密封,也有由金屬制成的,可承受高溫、輻射或侵蝕性介質(zhì)等惡劣的操作條件。Vat真空隔離閥即使在極快的開啟和關閉速度下,也幾乎不會產(chǎn)生振動或摩擦。
3.真空擺閥
真空擺閥是特殊類別的絕緣控制閥,其中真空板通過旋轉(zhuǎn)運動移出開口橫截面。由于具有非常精細的傳導控制功能,因此是工藝室下游壓力控制的標準解決方案。Vat真空擺閥設計緊湊,震動小,開啟和關閉輕柔,避免過程中產(chǎn)生顆粒。
原裝Vat Vakuumventile板閥