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北京愛歐德儀器設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 教學(xué)試驗(yàn)儀器，工程儀器設(shè)備，化工儀器設(shè)備 |
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更新時(shí)間：2016-09-29 02:00:31瀏覽次數(shù)：389
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電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀 基片曲率半徑測(cè)量測(cè)試儀 光學(xué)零件平整度面形檢測(cè)儀 微電子生產(chǎn)半導(dǎo)體基片檢測(cè)儀
電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀 型號(hào)AODJ-DZ
該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、基片曲率半徑測(cè)量測(cè)試。該儀器總測(cè)量點(diǎn)數(shù)多,能給出全場(chǎng)面型分布結(jié)果,適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)工藝研究。
儀器基于干涉計(jì)量的全場(chǎng)測(cè)試原理,可實(shí)時(shí)觀測(cè)面型的分布,迅速了解被測(cè)樣品的形貌及應(yīng)力集中位置,及時(shí)淘汰早期失效產(chǎn)品。
技術(shù)指標(biāo)
zui大樣品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范圍|R|≥5米
測(cè)試精度5%
單片測(cè)量時(shí)間3分鐘/片
結(jié)果類型面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
zui大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
技術(shù)指標(biāo)
zui大樣品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范圍|R|≥5米
測(cè)試精度5%
單片測(cè)量時(shí)間3分鐘/片
結(jié)果類型面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
zui大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
技術(shù)指標(biāo)
zui大樣品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范圍|R|≥5米
測(cè)試精度5%
單片測(cè)量時(shí)間3分鐘/片
結(jié)果類型面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
zui大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
技術(shù)指標(biāo)
zui大樣品尺寸≤100mm(4英寸)
曲率范圍|R|≥5米
測(cè)試精度5%
單片測(cè)量時(shí)間3分鐘/片
結(jié)果類型面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源AC220V±10%,50Hz±5%
zui大功耗100W
外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm
重量36kg
